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軸*

最大速度

精度

重復(fù)性

分辨率

回程間隙

X1

600 mm/s

≤±0.05mm/2000mm

≤±0.05 mm

0.01 mm

≤±0.05 mm

Y1

600 mm/s

≤±0.05mm/2000mm

≤±0.05 mm

0.01 mm

≤±0.05 mm

Z1

30 mm/s

≤±0.02mm/500mm

≤±0.02 mm

0.001 mm

≤±0.02 mm

A1

50deg/s

≤±0.01deg

≤±0.01deg

0.001deg

≤±0.01deg

B1

50deg/s

≤±0.01deg

≤±0.01deg

0.001deg

≤±0.01deg